接着,他又转向晶体管技术,这比电子管要复杂得多,但现在他的脑海中已经有了清晰的理解:
"晶体管制造设备清单:
半导体材料制备设备:区熔炉、单晶拉制装置
掺杂设备:扩散炉、离子注入机
光刻设备:紫外光源、精密对准装置
蚀刻设备:化学蚀刻槽、等离子体蚀刻机
金属化设备:真空蒸发镀膜机
封装设备:精密焊接机、树脂封装设备
测试设备:半导体参数测试仪、微型探针台
制造流程:
材料制备:提纯硅或锗,制成高纯单晶棒
切片:将单晶棒切成薄片(晶圆)
氧化:在晶圆表面生成氧化层
光刻:使用光敏剂和掩模版在晶圆上定义图形
掺杂:在特定区域掺入杂质(如磷、硼),形成PN结
金
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接着,他又转向晶体管技术,这比电子管要复杂得多,但现在他的脑海中已经有了清晰的理解: